宽视场高分辨率成像
mag.x system 125采用可集成的自动对焦模块，可在自动化工业环境中完成最严格的检验需求。各种验查应用均可从“闭环”自动对焦解决方案中受益，延长周期时间，从而提高吞吐量。
高分辨率检验已在很多应用中使用。每种应用都有各自的要求和约束。为了满足所有这些千差万别的需求，mag.x system 125采用模块化设计。定制式元素易于集成，并使系统能够无缝集成到周围设备中。mag.x 125系统可与我们的一系列物镜、镜筒透镜、照明灯管、自动对焦模块、安装板和其他配件组合使用，以满足您的应用需求。 详情请访问我们的 Qioptiq-Shop。
我们的质量标准：
- 采用创新光学设计的精密工程
- 物体和图像侧的确切远心度
- 衍射限制了整个成像圈的光学性能
- 精确动态自动对焦
理想应用：
半导体、平板显示器（TFT和OLED）和印刷电路板（PCB）的检验和加工，微观测量与计量，MEMS与纳米技术，荧光显微镜，数字病理学等。
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物镜消色镜 |
镜筒透镜系统 |
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|
1x |
1.73x |
2.25x |
||||||||||||||
|
f'tub = 250 mm |
f'tub = 432.5 mm |
f'tub = 563 mm |
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2y' = 25 mm |
2y' = 43.3 mm |
2y' = 57 mm |
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WD |
f'obj |
δ |
R0 |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
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Magn./NA |
毫米 |
毫米 |
µm |
lp/mm |
||||||||||||
|
2x/0.08 |
24.8 |
125 |
± 42.7 |
293 |
2.0 |
12.5 |
0.04 |
147 |
3.5 |
12.5 |
0.023 |
85 |
4.5 |
12.5 |
0.018 |
65 |
|
5x/0.2 |
13.0 |
50 |
± 6.8 |
733 |
5.0 |
5.0 |
0.04 |
147 |
8.7 |
5.0 |
0.023 |
85 |
11.25 |
5.0 |
0.018 |
65 |
NA 物体空间中的数值孔径 = n · sin (σ)
WD 工作距离
f'obj 物镜的焦距
f'tub 镜筒透镜的焦距
δobj 在546 nm处景深 δobj = ±n · λ/(2 · NA2)
R'0 在546 nm处图像空间中的截止频率
R0 在546 nm处物镜空间中的截止频率；R0 = (2 · NA) / λ
2y' 像场大小（最大检测器对角线）
2y 物场大小
M 整个系统放大倍数；M = Mobj · Mtub
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物镜消色镜 |
镜筒透镜系统 |
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1x |
1.73x |
2.25x |
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f'tub = 250 mm |
f'tub = 432.5 mm |
f'tub = 563 mm |
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2y' = 25 mm |
2y' = 43.3 mm |
2y' = 57 mm |
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WD |
f'obj |
δ |
R0 |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
M |
2y 毫米 |
NA' |
R'0 lp/mm |
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Magn./NA |
毫米 |
毫米 |
µm |
lp/mm |
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2x/0.08 |
24.8 |
125 |
± 42.7 |
293 |
2.0 |
12.5 |
0.04 |
147 |
3.5 |
12.5 |
0.023 |
85 |
4.5 |
12.5 |
0.018 |
65 |
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5x/0.2 |
13.0 |
50 |
± 6.8 |
733 |
5.0 |
5.0 |
0.04 |
147 |
8.7 |
5.0 |
0.023 |
85 |
11.25 |
5.0 |
0.018 |
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