Lentille de focalisation personnalisée à ultraviolet profond pour inspection de semiconducteurs

Équipement à semiconducteurs

Excelitas cumule plus de 40 années d'expertise en design, en conception et en production de lasers, de sources lumineuses, d'optiques et de dispositifs optomécaniques complexes utilisés pour fabriquer des semiconducteurs et de l'équipement intégré à des semiconducteurs. Nous offrons la stabilité précise, la résolution submicrométrique et la précision optomécanique fiable qui sont essentielles à l'évolution continue de la technologie de semiconducteurs.

Dispositif optomécanique personnalisé complexe pour l'intégration au système d'équipement à semiconducteurs

Solutions photoniques personnalisées

De la conception et du prototypage de solutions optiques sophistiquées à la production de masse, l'expertise et l'innovation d'Excelitas en matière d'optique redéfinissent le rendement photonique pour l'alignement lithographique, l'inspection de plaquettes, la métrologie, le traitement de puces, le collage et l'emballage. De l'ultraviolet profond à l'infrarouge, nos solutions optiques permettent d'obtenir les dimensions de plus en plus petites nécessaires pour les processus fondamentaux de la production de circuits intégrés.

Lentilles d'inspection : de micro à macro

Excelitas propose des composants, des dispositifs et des sous-systèmes optiques haut de gamme pour le traitement de puces et l'inspection de plaquettes. Offrant des technologies exhaustives d'éclairage et de laser, Excelitas est votre partenaire pour des solutions photoniques de bout en bout pour les semiconducteurs.

  • Optiques planes, asphériques, irrégulières, diamantées et métalliques complexes
  • Inspection de surface à haute résolution
  • Éclairage homogène à bande large et étroite
  • Lasers à l'état solide avec fibres couplées
  • Optiques personnalisées en forme de faisceau laser
  • Fibres optiques compatibles avec aspiration
  • Références pour alignement de plaquettes

Fiabilité à toute épreuve

Nous excellons dans les technologies informatisées d'alignement, de centrage et de fixation. L'inspection de la qualité est effectuée avec de l'équipement de métrologie moderne, y compris la détection Shack-Hartmann, l'interférométrie asphérique déphasée, l'interférométrie UV à IR, les tests MTF et la spectrophotométrie à large bande. Notre qualité éprouvée sur le terrain est rendue possible grâce à nos installations à la fine pointe, équipées de la machinerie la plus moderne sur le marché, d'installations d'assemblage pour salle blanche de classe 1000 et de certifications de conformité aux normes rigoureuses ISO 9001, 14001 et 13485.

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