Custom DUV objective lens for semiconductor inspection
Complex custom optomechanical assembly for integration into semiconductor equipment system
Custom motorized zoom lens module

Halbleiterausrüstung

Excelitas verfügt über mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Entwicklung, Konstruktion und Produktion von Lasern, Lichtquellen, optischen Geräten und komplexen optomechanischen Baugruppen, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet und in Halbleitergeräte integriert werden. Wir liefern die hohe Stabilität, Auflösung im Submikrometer-Bereich und zuverlässige optomechanische Präzision, die für die Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie entscheidend sind.

Complex custom optomechanical assembly for integration into semiconductor equipment system

Individuell angepasste photonische Lösungen

Vom Design und Prototyping anspruchsvoller optischer Lösungen bis hin zur Serienproduktion – die optische Expertise und Innovation von Excelitas sorgt für eine Neudefinition des Photonik-Leistungsumfangs für lithografische Ausrichtung, Waferinspektion, Messtechnik, Chip-Verarbeitung, Verklebung und Verpackung. Unsere optischen Lösungen reichen von DUV bis zu IR und unterstützen die stets geringer werdenden Funktionsgrößen, die für die missionskritischen Prozesse bei der Herstellung integrierter Schaltkreise erforderlich sind.

Inspektionsobjektive – von Mikro bis Makro

Excelitas bietet hochwertige optische Komponenten, Baugruppen und Subsysteme für die Chipverarbeitung und Waferinspektion an. In Verbindung mit unseren umfangreichen Beleuchtungs- und Lasertechnologien ist Excelitas Ihr Partner für photonische End-to-End-Lösungen für Halbleiteranwendungen.

  • Komplexe Flach-, Asphären-, Freiform-, Rautendreh- und Metalloptik
  • Oberflächeninspektion mit hoher Auflösung
  • Homogene Breit- und Schmalbandbeleuchtung
  • Fasergekoppelte Festkörperlaser
  • Individuell angepasste Strahlformungsoptik
  • Vakuum-kompatible Faseroptik
  • Referenzen für Waferausrichtung

Uneingeschränkte Zuverlässigkeit

Wir sind führend bei computergestützten Ausrichtungs-, Zentrierungs- und Fixierungstechnologien. Die Qualität wird mit modernen Messgeräten geprüft, darunter Shack-Hartmann-Sensorik, asphärische Phasenverschiebungsinterferometrie, UV-/IR-Interferometrie und MTF-Prüfungen, sowie Breitband-Spektrophotometrie. Unsere praxiserprobte Qualität beruht auf unseren hochmodernen Anlagen, die mit modernsten Maschinen und Montageeinrichtungen der Reinraumklasse 1000 ausgestattet sind. Darüber hinaus werden die ISO-Zertifizierungen 9001, 14001 und 13485 rigoros aufrechterhalten.