Système de microscope à champ large mag.x 125
Le Mag.x System 125 Optem® représente une nouvelle catégorie de systèmes optiques offrant une résolution semblable à celle d’un microscope à larges champs de vision prenant en charge des capteurs haute résolution modernes pouvant atteindre 57 mm de diamètre. Le système variable est entièrement modulaire et convient parfaitement à l'imagerie submicronique utilisée pour l'inspection et les mesures. The modular approach enables adaptation of the system to many applications ranging from a straightforward optical system without illumination to a full featured system including coaxial illumination and closed loop autofocus.
Imagerie à haute résolution sur un large champ de vision
With integrable autofocus modules, the mag.x system 125 meets the most demanding inspection tasks in automated industrial environments. Various inspection applications benefit from the "closed-loop" autofocus solution by reducing cycle times and increasing overall throughput.
L'inspection à haute résolution est utilisée dans de nombreuses applications. Chaque application a ses propres exigences et ses propres contraintes. Sa conception modulaire permet au système mag.x 125 de répondre à ces besoins variés. L’intégration d’éléments personnalisés est facile et permet de créer un système qui s’incorpore aisément à l’équipement qui l’entoure. Le système mag.x 125 peut être combiné avec notre gamme d'objectifs, de lentilles tubulaires, de tubes d'éclairage, de modules de mise au point, de plaques de montage et d'autres accessoires pour répondre à vos besoins.
Our Quality Criteria:
- Une mécanique de précision avec une conception optique novatrice
- Télécentricité précise sur l'objet et le côté image
- Performance optique à diffraction limitée sur l'ensemble de la zone de l'image
- Mise au point précise et dynamique
Utilisation idéales :
Inspection and processing of semiconductors, flat-panel displays (TFT and OLED) and printed circuit boards (PCBs), micro measurement and metrology, MEMS and nanotechnology, fluorescence microscopy, digital pathology, and more.
| Objectif à plan apochromatique | Système à lentille tubulaire | |||||||||||||||
| 1x | 2.25x | |||||||||||||||
| f'tub = 250 mm | f'tub = 563 mm | |||||||||||||||
| 2y' = 25 mm | 2y' = 57 mm | |||||||||||||||
| WD | f'obj | δ | R0 | M | 2y mm | NA' | R'0 lp/mm | M | 2y mm | NA' | R'0 lp/mm | |||||
| Magn./NA | mm | mm | µm | lp/mm | ||||||||||||
| 2x/0.08 | 24,8 | 125 | ± 42,7 | 293 | 2,0 | 12,5 | 0,04 | 147 | 4,5 | 12,5 | 0,018 | 65 | ||||
| 5x/0.2 | 13,0 | 50 | ± 6,8 | 733 | 5,0 | 5,0 | 0,04 | 147 | 11,25 | 5,0 | 0,018 | 65 | ||||
NA Numerical aperture in the object space = n · sin (σ)
WD Working distance
f'objFocal length of the objective
f'tubFocal length of the tube lens
δobjDepth of field at 546 nm δobj= ±n · λ/(2 · NA2)
R'0Cut-off frequency in image space at 546 nm
R0Cut-off frequency in object space at 546 nm; R0 = (2 · NA) / λ
2y' Image field size (maximum detector diagonal)
2y Object field size
M Magnification of the overall system; M = Mobj · Mtub
| Objectif à plan apochromatique | Système à lentille tubulaire | |||||||||||||||
| 1x | 2.25x | |||||||||||||||
| f'tub = 250 mm | f'tub = 563 mm | |||||||||||||||
| 2y' = 25 mm | 2y' = 57 mm | |||||||||||||||
| WD | f'obj | δ | R0 | M | 2y mm | NA' | R'0 lp/mm | M | 2y mm | NA' | R'0 lp/mm | |||||
| Magn./NA | mm | mm | µm | lp/mm | ||||||||||||
| 2x/0.08 | 24,8 | 125 | ± 42,7 | 293 | 2,0 | 12,5 | 0,04 | 147 | 4,5 | 12,5 | 0,018 | 65 | ||||
| 5x/0.2 | 13,0 | 50 | ± 6,8 | 733 | 5,0 | 5,0 | 0,04 | 147 | 11,25 | 5,0 | 0,018 | 65 | ||||