Système d’inspection avec microscope de haute résolution à champ large Mag.x System 125

Système de microscope à champ large mag.x 125

Poursuivant notre tradition d'excellence optique Qioptiq®, le système Mag.x  125 représente une nouvelle catégorie de systèmes optiques offrant une résolution semblable à celle d'un microscope à larges champs de vision prenant en charge des capteurs haute résolution modernes pouvant atteindre 57 mm de diamètre. Le système variable est entièrement modulaire et convient parfaitement à l'imagerie submicronique utilisée pour l'inspection et les mesures. L'approche modulaire permet d'adapter le système à de nombreuses applications allant d'un système optique simple sans éclairage à un système complet comprenant un éclairage coaxial et une mise au point automatique en boucle fermée.

Imagerie à haute résolution sur un large champ de vision

Avec des modules intégrables de mise au point automatique, le système Mag.x 125 s'acquitte des tâches d'inspection les plus difficiles dans un environnement industriel automatisé. Différents types d'inspection bénéficient de la solution de mise au point automatique en boucle fermée pour augmenter leur temps de cycle et donc leur production.

Lentilles mag.x 125L'inspection à haute résolution est utilisée dans de nombreuses applications. Chaque application a ses propres exigences et ses propres contraintes. Sa conception modulaire permet au système mag.x 125 de répondre à ces besoins variés. L’intégration d’éléments personnalisés est facile et permet de créer un système qui s’incorpore aisément à l’équipement qui l’entoure. Le système mag.x 125 peut être combiné avec notre gamme d'objectifs, de lentilles tubulaires, de tubes d'éclairage, de modules de mise au point, de plaques de montage et d'autres accessoires pour répondre à vos besoins. Apprenez-en plus en visitant la boutique Qioptiq.

Nos critères de qualité :
  • Une mécanique de précision avec une conception optique novatrice
  • Télécentricité précise sur l'objet et le côté image
  • Performance optique à diffraction limitée sur l'ensemble de la zone de l'image
  • Mise au point précise et dynamique
Utilisation idéales :

Inspection et traitement des semiconducteurs, des écrans plats (TFT et DELO) et des cartes de circuits imprimés, micro-mesurage et métrologie, système microélectromécanique et nanotechnologie, microscopie par fluorescence, pathologie numérique et plusieurs autres.

Objectif à plan apochromatique

Système à lentille tubulaire​​​​​​​

1x

1.73x

2.25x

f'tub = 250 mm

f'tub = 432,5 mm

f'tub = 563 mm

2y' = 25 mm

2y' = 43.3 mm

2y' = 57 mm

 

WD

f'obj

δ

R0

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

Magn./NA

mm

mm

µm

lp/mm

2x/0.08

24,8

125

± 42,7

293

2,0

12,5

0,04

147

3,5

12,5

0,023

85

4,5

12,5

0,018

65

5x/0.2

13,0

50

± 6,8

733

5,0

5,0

0,04

147

8,7

5,0

0,023

85

11,25

5,0

0,018

65

NA : Ouverture numérique dans l'espace-objet = n · sin (σ)
WD : Distance de travail
f'obj : Distance focale de l'objectif
f'tub : Distance focale de la lentille tubulaire
δobj : Profondeur de champ à 546 nm δobj = ±n · λ/(2 · NA2)
R'0 : Fréquence de coupure dans l'espace-image à 546 nm
R0 : Fréquence de coupure dans l’espace-objet à 546 nm R0 = (2 · NA) / λ
2y' : Étendue du champ de l'image (diagonale maximale du détecteur)
2y : Étendue du champ de l'objet
M : Grossissement du système global; M = Mobj · Mtub
Consultez la brochure Mag.X sous l'onglet Documentation pour une description plus détaillée et un renvoi à ce tableau.​​​​​​​

Objectif à plan apochromatique

Système à lentille tubulaire​​​​​​​

1x

1.73x

2.25x

f'tub = 250 mm

f'tub = 432,5 mm

f'tub = 563 mm

2y' = 25 mm

2y' = 43.3 mm

2y' = 57 mm

 

WD

f'obj

δ

R0

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

M

2y

mm

NA'

R'0

lp/mm

Magn./NA

mm

mm

µm

lp/mm

2x/0.08

24,8

125

± 42,7

293

2,0

12,5

0,04

147

3,5

12,5

0,023

85

4,5

12,5

0,018

65

5x/0.2

13,0

50

± 6,8

733

5,0

5,0

0,04

147

8,7

5,0

0,023

85

11,25

5,0

0,018

65

NA : Ouverture numérique dans l'espace-objet = n · sin (σ)
WD : Distance de travail
f'obj : Distance focale de l'objectif
f'tub : Distance focale de la lentille tubulaire
δobj : Profondeur de champ à 546 nm δobj = ±n · λ/(2 · NA2)
R'0 : Fréquence de coupure dans l'espace-image à 546 nm
R0 : Fréquence de coupure dans l’espace-objet à 546 nm R0 = (2 · NA) / λ
2y' : Étendue du champ de l'image (diagonale maximale du détecteur)
2y : Étendue du champ de l'objet
M : Grossissement du système global; M = Mobj · Mtub
Consultez la brochure Mag.X sous l'onglet Documentation pour une description plus détaillée et un renvoi à ce tableau.​​​​​​​
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