F-Theta-Ronar-Objektive 340–360 nm
LINOS® F-Theta-Ronar-Objektive sind für abberationsfreies Imaging bei UV-Laserwellenlängen zwischen 340 und 360 nm ausgelegt und ermöglichen außergewöhnlich kleine Spotdurchmesser über die gesamte flache Bildebene. Alle Objektive werden aus hochwertigem Quarzglas für den Einsatz mit UV-Lasern in der Materialbearbeitung gefertigt, unter anderem im High-Power- und Ultrakurzpulsbereich und sind mit einer hochentwickelten breitbandigen und winkeloptimierten Beschichtung versehen. Es steht eine große Auswahl an Brennweiten und telezentrischen Ausführungen zur Verfügung, wodurch sich LINOS F-Theta-Ronar-Objektive für eine Vielzahl von Anwendungen in der Lasermaterialbearbeitung eignen. Diese Objektive werden mit modernsten Fertigungstechnologien hergestellt, um eine langfristige optische Stabilität zu gewährleisten und höchsten Qualitätsstandards zu entsprechen.
Das LINOS-UV-F-Theta-Objektiv mit geringer Ausgasung und einer Brennweite von 330 mm (f=330 mm) ist das erste seiner Art. Es hat ein Edelstahldesign in einem handelsüblichen UV-Standardprodukt, um potenzielle Verunreinigungen zu minimieren, die Produktlebensdauer zu verlängern und eine optimale beugungsbegrenzte Leistung zu gewährleisten. Dieses Objektiv bietet erhöhte Beständigkeit und ermöglicht höhere UV-Pulsenergien und kürzere Laserpulse, die für die Lasermaterialbearbeitung in der Halbleiter-, Wafer- und Elektronikdisplayindustrie unerlässlich sind.
UV-F-Theta-Ronar-Objektive werden aus farblosem, eloxiertem Aluminium hergestellt und sind mit Brennweiten von 252 mm und 330 mm erhältlich. Diese Objektive werden unter Verwendung fortschrittlicher Technologien hergestellt und gewährleisten langfristige optische Stabilität sowie eine kosteneffiziente Reduzierung der Ausgasung.
Die UV-F-Theta-Objektive eignen sich hervorragend für den Einsatz mit dem LINOS UV-Strahlaufweiter. Sie sind für größere Strahldurchmesser und unterschiedliche Spiegelabstände geeignet, wobei sich Scanfeld und Spotgröße entsprechend ändern.
Bei Fragen stehen wir gerne zur Verfügung.
| Produkt | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 167 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 100 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 252 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 255 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 160 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 330 mm/340–360 nm, farblos eloxiert | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 70 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 330 mm/340–360 nm, Edelstahl |
| Material/Ausführung | Schwarz eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Farblos eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Farblos eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Edelstahl |
| Typisches Scanfeld | 65 | 46 | 133 | 170 | 98 | 212 | 28 | 212 |
| Schutzglas Code | PG 15 | PG 11 | PG 34 | PG 11 | PG 4 | PG 34 | PG 4 | PG 33 |
| Nennbrennweite (mm) | 167,0 | 100,0 | 252,0 | 255,0 | 160,0 | 330,0 | 70,0 | 330,0 |
| Arbeitsabstand | 255,0 mm | 136,7 mm | 331,4 mm | 318,1 mm | 197,4 mm | 418,1 mm | 92,5 mm | 418,1 mm |
| Effektive Brennweite | 166,9 | 104,1 | 252,1 | 254,7 | 161,0 | 330,6 | 73,9 | 330,6 |
| Schraubgewinde | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 |
| Telezentrisch | ja | ja | ja | |||||
| Typischer Scanwinkel ±Θx,y | ± 11,3 | ± 12,7 | ± 15,5 | ± 19,3 | ± 17,7 | ± 18,6 | ± 11,3 | ± 18,6 |
| Flanschbrennweite | 374,1 mm | 215,1 mm | 435,4 mm | 365,7 mm | 208,3 mm | 491,1 mm | 144,3 mm | 491,1 mm |
| Typischer Spiegelabstand m1/m2 | 13.0 - 48.0 mm | 13.0 - 29.0 mm | 17.0 - 38.0 mm | 13.0 - 30.0 mm | 9.3 - 16.0 mm | 17.0 - 25.0 mm | 13.0 - 19.0 mm | 17.0 - 25.0 mm |
| Spotdurchmesser bei 1/e2 Øspot | 13,0 | 7,0 | 12,0 | 17,0 | 15,0 | 15,0 | 5,0 | 15,0 |
| Teilenummer | 4401-511-000-21 | 4401-509-000-21 | 4401-619-000-29 | 4401-481-000-21 | 4401-399-000-21 | 4401-617-000-29 | 4401-576-000-21 | 4401-617-000-28 |
Quarzglasdesigns für die Materialbearbeitung mit Hochleistungs- und Ultrakurzpulslasern
- Telezentrische Varianten erhältlich
- Brennweiten von 70 mm bis 330 mm, Toleranz ±1%
- Schraubgewinde M85 x 1
- Transmission ≥ 96 %, zusätzlich beschichtet für das visuelle Spektrum
- Laserzerstörschwelle Beschichtung bis 4 J/cm² bei 355 nm, 6 ns, 100 Hz und bis 0,4 J/cm² bei 343 nm, 200 fs, 1 kHz
- Inklusiv austauschbarem Schutzglas aus Quarzglas
| Produkt | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 167 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 100 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 252 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 255 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 160 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 330 mm/340–360 nm, farblos eloxiert | F-Theta-Ronar telec/Quarzglas 70 mm/340–360 nm | F-Theta-Ronar Quarzglas 330 mm/340–360 nm, Edelstahl |
| Material/Ausführung | Schwarz eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Farblos eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Farblos eloxiertes Aluminium | Schwarz eloxiertes Aluminium | Edelstahl |
| Typisches Scanfeld | 65 | 46 | 133 | 170 | 98 | 212 | 28 | 212 |
| Schutzglas Code | PG 15 | PG 11 | PG 34 | PG 11 | PG 4 | PG 34 | PG 4 | PG 33 |
| Nennbrennweite (mm) | 167,0 | 100,0 | 252,0 | 255,0 | 160,0 | 330,0 | 70,0 | 330,0 |
| Arbeitsabstand | 255,0 mm | 136,7 mm | 331,4 mm | 318,1 mm | 197,4 mm | 418,1 mm | 92,5 mm | 418,1 mm |
| Effektive Brennweite | 166,9 | 104,1 | 252,1 | 254,7 | 161,0 | 330,6 | 73,9 | 330,6 |
| Schraubgewinde | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 | M85x1 |
| Telezentrisch | ja | ja | ja | |||||
| Typischer Scanwinkel ±Θx,y | ± 11,3 | ± 12,7 | ± 15,5 | ± 19,3 | ± 17,7 | ± 18,6 | ± 11,3 | ± 18,6 |
| Flanschbrennweite | 374,1 mm | 215,1 mm | 435,4 mm | 365,7 mm | 208,3 mm | 491,1 mm | 144,3 mm | 491,1 mm |
| Typischer Spiegelabstand m1/m2 | 13.0 - 48.0 mm | 13.0 - 29.0 mm | 17.0 - 38.0 mm | 13.0 - 30.0 mm | 9.3 - 16.0 mm | 17.0 - 25.0 mm | 13.0 - 19.0 mm | 17.0 - 25.0 mm |
| Spotdurchmesser bei 1/e2 Øspot | 13,0 | 7,0 | 12,0 | 17,0 | 15,0 | 15,0 | 5,0 | 15,0 |
| Teilenummer | 4401-511-000-21 | 4401-509-000-21 | 4401-619-000-29 | 4401-481-000-21 | 4401-399-000-21 | 4401-617-000-29 | 4401-576-000-21 | 4401-617-000-28 |
Quarzglasdesigns für die Materialbearbeitung mit Hochleistungs- und Ultrakurzpulslasern
- Telezentrische Varianten erhältlich
- Brennweiten von 70 mm bis 330 mm, Toleranz ±1%
- Schraubgewinde M85 x 1
- Transmission ≥ 96 %, zusätzlich beschichtet für das visuelle Spektrum
- Laserzerstörschwelle Beschichtung bis 4 J/cm² bei 355 nm, 6 ns, 100 Hz und bis 0,4 J/cm² bei 343 nm, 200 fs, 1 kHz
- Inklusiv austauschbarem Schutzglas aus Quarzglas