Ionenstrahl-Hochspannungsstromversorgungen

 

Die Leistungs- und Qualitätsanforderungen, die an Stromversorgungen für die Ionenimplantation bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, bei der Metallveredelung sowie auf den Forschungsmärkten der Materialwissenschaft gestellt werden, sind konkurrenzlos. Die Stromversorgungen und Technologien, die in unserer Familie von Stromversorgungen eingesetzt werden, bieten die Leistung und Qualität, die für die hohen Anforderungen dieser Anwendungen erforderlich sind.

 

Excelitas Gerätefamilie an Ionenstrahl-Hochspannungsstromversorgungen

Produktliste

Teilenummer
S25-250

-25 kV, 250 W Elektronenunterdrückungs-Stromversorgung

Die 250-Watt-Stromversorgung mit -25 kV und 10 mA enthält ein quasiresonantes Hochfrequenz-Schaltnetzteil mit einem IGBT-basierten Leistungsumrichter mit einem vollständig luftisolierten Hochspannungsteil. Das fehlertolerante Design dieses Systems bietet Schutz vor offenen Stromkreisen und Kurzschlüssen. Geringe gespeicherte Energie, ein Vorteil des Hochfrequenz-Schaltdesigns, bietet eine schnelle Reaktion auf Transienten und einen verbesserten Schutz für die Last und die Anlagenbetreiber.
Teilenummer
S40-1K

-40 kV, 1 kW Elektronenunterdrückungs-Stromversorgung

Die -40 ​​​​​​​kV, 25 mA 1-kW-Stromversorgung umfasst ein quasiresonantes Hochfrequenz-Schaltmodus-Design unter Verwendung eines IGBT-basierten Leistungsumrichters mit einem vollständig luftisolierten Hochspannungsabschnitt. Das fehlertolerante Design dieses Systems bietet Schutz vor offenen Stromkreisen und Kurzschlüssen. Geringe gespeicherte Energie, ein Vorteil des Hochfrequenz-Schaltdesigns, bietet eine schnelle Reaktion auf Transienten und einen verbesserten Schutz für die Last und die Anlagenbetreiber.
Teilenummer
S40-500

-40 kV, 500 W Elektronenunterdrückungs-Stromversorgung

Die -40 kV, 12,5 mA, 500 Watt Stromversorgung umfasst ein quasiresonantes Hochfrequenz-Schaltmodus-Design unter Verwendung eines IGBT-basierten Leistungsumrichters mit einem vollständig luftisolierten Hochspannungsabschnitt. Das fehlertolerante Design dieses Systems bietet Schutz vor offenen Stromkreisen und Kurzschlüssen. Geringe gespeicherte Energie, ein Vorteil des Hochfrequenz-Schaltdesigns, bietet eine schnelle Reaktion auf Transienten und einen verbesserten Schutz für die Last und die Anlagenbetreiber.